計測・検査・分析機器

ワンショット3D形状測定機(サポイン事業にて研究開発に使用中)

能力 分解能 0.1μm
台数 2 台
メーカー KEYENCE

高さ・平面度測定機

能力 分解能 0.3μm 
台数 1 台
メーカー KEYENCE

画像寸法測定機

能力 高精度モード 繰り返し精度 ±0.5μm、測定精度 ±2.0μm
台数 4 台
メーカー KEYENCE

3次元測定機(大型)

能力 測定精度: 2.6+3.0L/1000≦4.9μm
台数 2 台
メーカー 東京精密

輪郭形状測定機

能力 測定精度: ア0.25%
台数 5 台
メーカー 東京精密

投影機

能力 測定精度: 4+(L/25)µm(V24)
台数 V24型 2台、V20型 1台、V16型 4台、V12型 4台
メーカー Nikon

真円度測定機

能力 測定精度: 0.05+6H/10000µm
台数 3 台
メーカー 東京精密

コンタミカウンター

能力 測定精度: 分解能 1.283µm
台数 1 台
メーカー ニレコ

渦流探傷装置

能力 測定精度: Φ3.0以上の貫通孔、深さ50µm以上のキズを検出
台数 10 台
メーカー ibg、他

蛍光X線分析装置

能力 測定範囲: 13Al~92U
台数 1 台
メーカー 島津製作所